전극 인라인 검사를 2D에서 3D로 바꿀 때 현장에서는 대역부터 확보해야 한다고 본다. 그러나 전극 라인 조건을 넣고 계산하면 높이 지배 결함을 목표로 하는 한 3D 프로파일의 데이터율은 동급 2D AOI의 약 6분의 1이고, 링크 점유는 10.2%에 그친다. 실제로 먼저 포화되는 것은 점군 정합·추론 지연이며, 증속 여력 기준으로 지연 제약이 대역 제약보다 약 7.8배 먼저 걸린다. 검사 항목이 면해상도 지배로 바뀌면 이 결론은 정반대로 뒤집힌다.